| 配置與性能 | 加工尺寸 | φ6‘’或□150mm |
| 切槽深度 | ≦4mm或定制 |
| 工作臺(tái)平整度 | ±0.006mm/φ160mm |
| 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) | 70x直光﹢環(huán)光（210x選配） |
| 主軸 | 轉(zhuǎn)速范圍 | 3000～50000rpm |
| 輸出功率 | 1.5KW |
| X軸 | 驅(qū)動(dòng)方式 | 伺服電機(jī) |
| 工作臺(tái)左右行程 | 170mm |
| 行程分辨率 | 0.0001mm |
| 速度設(shè)定范圍 | 0.1～500mm/s |
| Y軸 | 驅(qū)動(dòng)方式 | 步進(jìn)電機(jī)﹢光柵閉環(huán)控制系統(tǒng) |
| 主軸前后行程 | 170mm |
| 行程分辨率 | 0.0001mm |
| 單步定位精度 | ≦0.003mm/5mm |
| 全程定位精度 | ≦0.005mm/170mm |
| Z軸 | 驅(qū)動(dòng)方式 | 步進(jìn)電機(jī) |
| 主軸上下行程 | 30mm |
| 行程分辨率 | 0.001mm |
| 重復(fù)定位精度 | 0.001mm/50次 |
| θ軸 | 驅(qū)動(dòng)方式 | DD馬達(dá) |
| 轉(zhuǎn)角范圍 | 380o |
| 轉(zhuǎn)角分辨率 | 0.0005o |
| 基礎(chǔ)規(guī)格 | 電源 | 單相，AC220V±10%,3.0kVA |
| 耗電量 | 加工時(shí) 0.6KW（參考值） |
| 暖機(jī)時(shí) 0.4KW（參考值） |
| 壓縮空氣 | 壓力0.6～0.8Mpa,最大消耗量180L/min |
| 切削水 | 壓力0.2～0.4Mpa,最大消耗量4.0L/min |
| 冷卻水 | 壓力0.2～0.4Mpa,最大消耗量1.5L/min |
| 排風(fēng)量 | 1.5m3/min(ANR) |
| 外形尺寸W×D×H | 580mm×910mm×1650mm |
| 重量 | 500kg |
特點(diǎn)：
√ 刀片數(shù)據(jù)庫管理
√ 工件切割數(shù)據(jù)庫管理
√ 自動(dòng)對(duì)焦功能
√ 雙向抬刀切割功能
√ 刀刃露出量補(bǔ)償功能
√ 多項(xiàng)安全保障和報(bào)警功能
使用條件：
1.請(qǐng)將機(jī)器設(shè)在20~25℃的環(huán)境中（波動(dòng)范圍控制在±1℃以內(nèi)）；室內(nèi)濕度40%~60%，保持恒定，無凝結(jié)。
2. 請(qǐng)使用大氣壓露點(diǎn)在-15℃以下，殘余油份為0.1ppm，過濾度在0.01um/99.5以上的清潔壓縮空氣。
3. 請(qǐng)將切削水的水溫控制為室溫2℃（波動(dòng)范圍在±1℃以內(nèi)），冷卻水的水溫控制為與室溫相同（波動(dòng)范圍控制在±1℃以內(nèi)）。
4. 請(qǐng)避免設(shè)備受到重力撞擊以及外界任何振動(dòng)威脅。另外，請(qǐng)不要將設(shè)備裝在鼓風(fēng)機(jī)、通風(fēng)口、產(chǎn)生高溫的裝置以及產(chǎn)生油污的裝置附近。
5.請(qǐng)把本設(shè)備安裝在有防水性地板以及有排水處理的場(chǎng)所。
6.請(qǐng)嚴(yán)格按照本公司產(chǎn)品使用說明書進(jìn)行操作。
應(yīng)用領(lǐng)域： 二極管、三極管、LED封裝、NTC、MEMS、IC、光伏、醫(yī)療器械、閃爍晶體
可精密切割材料： 硅片、PCB板、EMC、陶瓷、玻璃、石英、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石、晶體
自動(dòng)對(duì)焦功能：
通過視覺算法，配合運(yùn)動(dòng)控制，自動(dòng)升降鏡頭，快速獲得工件圖像清晰位置。
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