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產(chǎn)品分類

半導(dǎo)體加工設(shè)備

精密測(cè)量?jī)x器

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產(chǎn)品名稱：

3D光學(xué)輪廓儀 S neox

產(chǎn)品型號(hào)：

3D光學(xué)輪廓儀 S neox

點(diǎn)擊次數(shù)：

3147次

產(chǎn)品信息：

D 光學(xué)輪廓儀 S neox
最新的S系列3D光學(xué)輪廓儀，為您展現(xiàn)全新的3D立體形貌
全新設(shè)計(jì)的3D光學(xué)輪廓儀S neox顛覆傳統(tǒng)，將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融合于一身，測(cè)量頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件。

共聚焦
共聚焦技術(shù)可以用來(lái)測(cè)量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達(dá)0.09um.利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。專利的共聚焦算法保證Z測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

相位差干涉
相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測(cè)量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場(chǎng)測(cè)量。

白光干涉
白光干涉是一種納米級(jí)測(cè)量精度的用于測(cè)量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米的縱向分辨率。

多焦面疊加
多焦面疊加技術(shù)是用來(lái)測(cè)量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來(lái)補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要。該技術(shù)的最大亮點(diǎn)是快速（mm/s）、掃描范圍大和支援斜率大（最大86°）。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。

無(wú)運(yùn)動(dòng)部件的共聚焦
Sneox系列是采用Sensofar專利設(shè)計(jì)的Microdisplay共集聚掃描技術(shù)。Microdisplay使用FLCOS原理，可實(shí)現(xiàn)無(wú)需機(jī)械運(yùn)動(dòng)的快速共聚焦掃描。它具有高速、穩(wěn)定和無(wú)限使用時(shí)間的特點(diǎn)。現(xiàn)有的其他品牌共聚焦顯微鏡都采用鏡片震動(dòng)掃描的方式，因?yàn)橛袡C(jī)械震動(dòng)會(huì)造成測(cè)量時(shí)抖動(dòng)，使用時(shí)間也有限。

多波長(zhǎng)的LED光源
Sneox有4個(gè)獨(dú)立的LED光源紅色(630nm),綠色（530nm），藍(lán)色（460nm）和白色，可以滿足各種應(yīng)用的需要。較短的光波長(zhǎng)可在測(cè)量時(shí)獲得最好的水平分辨率。較長(zhǎng)的光波長(zhǎng)有更好的光學(xué)相干性，適合干涉掃描使用。此紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明的方式還能幫助獲得最真實(shí)和高對(duì)比度的圖像。

用高分辨率的攝像頭將共聚焦的圖像精彩呈現(xiàn)。
用高速模式掃低反射率的樣品時(shí)，3D掃時(shí)間將少于3秒。

3D形貌的最新體檢
彩色共聚焦觀察方式使用戶能在視場(chǎng)內(nèi)觀察到納米級(jí)的細(xì)節(jié)。掃??時(shí)用紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明，獲得三張單色的圖像，最后還原成高分瀕率彩色圖像和高質(zhì)量的彩色表面紋理圖

薄膜厚度
用分光反射計(jì)可以完善地解決薄膜厚度測(cè)量。Sneox在增加了分光反射計(jì)后可以測(cè)量10nm的膜厚和最多10層膜。由于是通過(guò)顯微鏡測(cè)量，最小的測(cè)量點(diǎn)為5um。因?yàn)橄到y(tǒng)里有組合的LED光源，所以實(shí)時(shí)觀察和膜厚測(cè)量能同時(shí)進(jìn)行。

增配SensoPRO或SensoMAP軟件就能輕易實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量和分析
SensoPRO
有了SensoPRO，在生產(chǎn)線上進(jìn)行質(zhì)量管控將變得從未有過(guò)的簡(jiǎn)單和快速。操作員只需要更換樣品和按開(kāi)始測(cè)量就行。插件式的數(shù)據(jù)分析模塊能靈活地增減，現(xiàn)在已有特別針對(duì)PSS（LED行業(yè)）、Bump、深孔、粗糙度、臺(tái)階高度、traces和劃痕的分析模組。還能根據(jù)客戶的要求定制。

SensoMAP
SensoMAP是基于Mountains的專業(yè)形貌分析和報(bào)告軟件。它采用模塊化設(shè)計(jì)，有兩個(gè)級(jí)別（standard和premium）和多個(gè)功能模塊（2D、3D和4D分析、高階輪廓分析、粒度分析、統(tǒng)計(jì)和拼接等）可供選擇。

明場(chǎng)								干涉
放大倍數(shù)	2.5X	5X	10X	20X	50X	100X	150X	2.5X	5X	10X	20X	50X	100X
數(shù)值孔徑	0.075	0.15	0.30	0.45	0.80	0.90	0.95	0.075	0.13	0.30	0.40	0.55	0.70
工作距離（毫米）	6.5	23.5	17.5	4.5	1.0	1.0	0.2	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2.0
視場(chǎng)范圍1（微米）	7016x5280	3508x2640	1754x1320	877x660	351x264	175x132	117x88	7016x5280	3508x2640	1754x1320	877x660	351x264	175x132
像素分辨率2（微米）	5.16	2.58	1.29	0.65	0.26	0.13	0.09	5.16	2.58	1.29	0.65	0.26	0.13
光學(xué)分辨率3（微米）	1.87	0.93	0.46	0.31	0.17	0.15	0.14	1.87	1.07	0.46	0.35	0.5	0.20
測(cè)量時(shí)間4（秒）	>3s							>3s

系統(tǒng)參數(shù)
CCD像素	130x1024 pixels
LED光源	紅（630nm)，綠（530nm)，藍(lán)（460nm)，白(550nm)
樣品高度	標(biāo)準(zhǔn)支架40mm，可調(diào)支架150mm(更大可定制）
平臺(tái)尺寸	最大700*600mm
Z軸移動(dòng)行程	標(biāo)準(zhǔn)支架40mm，PZT裝置200um
Z軸測(cè)量范圍	PSI 20um,ePSI 100um，VSI 10mm,共聚焦10mm,多焦面疊加37mm
Z軸線性度	標(biāo)準(zhǔn)支架<0.5um/mm,PZT裝置<30nm/100um(0.03%)
Z軸分辨率	標(biāo)準(zhǔn)支架2nm,PZT裝置0.75nm
臺(tái)階高度重復(fù)性	0.10%
臺(tái)階精度	0.50%
樣品反射率	0.05% to 100%
顯示分辨率	0.001nm
電源	交流電100-240AC,50/60HZ
電腦配置	最新款I(lǐng)NTEL處理器，2560*1440分辨率顯示器（27英寸）
操作系統(tǒng)	Microsoft Windows8 64bits
工作環(huán)境	溫度：10-35度，濕度<80%，海拔<2000m

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